一、微振动控制
1. 微振动概念
微振动是指频率在0.1Hz～10Hz之间的振动，这种振动对电子设备的影响较大，可能导致设备性能下降、寿命缩短。在洁净厂房设计中，微振动控制至关重要。
2. 微振动控制措施
（1）建筑结构设计
洁净厂房的建筑结构应采用低刚度、高阻尼的设计，以降低建筑本身产生的振动。例如，采用轻质隔墙、弹性吊顶等。
（2）设备选型与安装
选用低振动、低噪音的设备，如精密空调、无油空压机等。设备安装时，应采用减振、隔振措施，如使用减振器、隔振垫等。
（3）管道系统设计
管道系统应采用柔性连接，以减少管道振动对洁净厂房的影响。管道应尽量短直，减少弯头、三通等易产生振动的部件。
（4）地面处理
洁净厂房地面应采用防振、防滑材料，如橡胶地板、防静电地板等。地面施工时，应确保平整度，减少地面不平引起的振动。
（5）门窗设计
门窗应采用密封、隔音、防振的设计，如采用双层玻璃、密封条等。
二、静电接地做法
1. 静电概念
静电是指物体表面由于摩擦、接触等原因产生的电荷积累。在洁净厂，静电会对电子设备产生干扰，甚至损坏设备。
2. 静电接地措施
（1）接地系统设计
洁净厂房应设置完善的接地系统，包括接地网、接地线、接地体等。接地电阻应满足相关规范要求。
（2）设备接地
设备应采用可靠的接地措施，如使用接地线、接地夹具等。接地线应采用线，以减少干扰。
（3）人员接地
操作人员应佩戴防静电手环、防静电鞋等，以降低静电。操作人员应定期进行静电检测，确保静电水平在允许范围内。
（4）环境控制
洁净厂房应保持适当的湿度，以降低静电产生。一般湿度控制在40%～60%之间。
（5）防静电材料
洁净厂房内应使用防静电材料，如防静电地板、防静电桌椅等。这些材料应定期进行检测，确保其防静电性能。
电子工业洁净厂房设计规范中的微振动控制与静电接地做法是确保电子设备生产质量的关键。在设计过程中，应充分考虑建筑结构、设备选型、管道系统、地面处理、门窗设计等方面，确保微振动控制在允许范围内。加强静电接地措施，降低静电对电子设备的影响。只有这样，才能为电子工业提供稳定、可靠的生产环境。